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離子碳氮共滲爐有脈沖電氣控制系統、真空爐體、外輔助加熱系統、碳氮共滲配氣系統、真空測量及控制系統等幾大部分組成，離子碳氮共滲爐的直徑和高度可根據工件的尺寸進行設計。
離子碳氮共滲爐工作工藝簡介：
       離子碳氮共滲是在真空容器中，通入含碳、氮氣體，利用工件(陰極)和陽極間產生的輝光放電同時滲入碳和氮，并以滲碳為主的化學熱處理工藝。
       離子碳氮共滲是近幾年國外興起的新的離子化學熱處理新工藝，國外稱PLASOX技術或IONITOX技術。它是在離子氮碳共滲硬化處理的基礎上，再進行一 次離子氧化處理，在白亮化合物層表面形成一層黑色致密的Fe3O4膜。經Ion(NC+O)復合處理后，既提高了鋼表面的硬度和耐磨性，又提高了鋼表面的 耐腐蝕性能。被處理的工件表面的耐腐蝕性能可以超過鍍硬鉻處理的，并解決了鹽浴氮碳共滲+拋光+氧化處理（PQP技術）對環境污染的問題。